2022年中国刻蚀设备行业有望达到500亿元,较2021年增长125亿元左右[图]
刻蚀是指通过溶液、离子等方式剥离移除如硅、金属材料、介质材料等晶圆表面材料,从而达到集成电路芯片结构设计要求的一种工艺流程。从工艺技术来看,刻蚀可分为湿法刻蚀(WetEtching)和干法刻蚀(DryEtching)两类。刻蚀工艺分类
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ICP与CCP是应用最为广泛的刻蚀设备。目前等离子刻蚀是晶圆制造中使用的主要刻蚀方法,容性等离子刻蚀(CCP)和电感性等离子刻蚀(ICP)是两种常用的等离子刻蚀方法。
电容性和电感性等离体刻蚀设备
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据测算:2020年我国蚀刻设备市场规模为250.29亿元,2021年我国蚀刻设备市场规模增长至375.28亿元,预计2022年蚀刻设备市场规模有望达到500亿元。
2015-2022年中国蚀刻设备市场规模走势
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对比国际刻蚀龙头,国内刻蚀企业在规模、研发、技术等差距显著。国内刻蚀设备生产厂商在全球刻蚀设备市场的市占率较低,与世界头部企业在多方面存在较大差距。从研发投入角度看,虽然北方华创和中微公司研发投入占营业收入比重超过国外企业,但是研发投入总规模仍然远远小于国际龙头企业。在国家集成电路产业基金和行业政策的大力扶持下,二者的研发投入有望迎来大幅提升。在技术水平上,国内头部企业尚未攻克一些顶尖刻蚀技术,与国际巨头也存在较大差距。
各厂商刻蚀设备与刻蚀工艺对比
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2023-2029年中国刻蚀设备行业调查与发展前景预测报告
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