兆声波清洗机是以高频振效应并结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗为原理的清洗设备。兆声波清洗工艺是一种以超声波清洗为基础而研发的新兴半导体清洗技术,和传统的超声波清洗原理类似,不过其使用的声波频率高达500kHz~499GHz,这样既保存了原有超声波清洗的技术优势,又对超声波清洗的技术劣势加以改善。其原理是利用声压梯度、粒子速度及声流的作用,由高能频振效应结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗。
目前,国内兆声波清洗机生产企业主要有盛美上海、北京东方金荣、蓝鲸、上海央米智能、深圳市精英超声、深圳威固特等。兆声波清洗机企业主要分布在上海、北京、深圳等地区。随着国内半导体清洗、显影、除胶、刻蚀等领域对兆声波清洗机行需求市场的快速增长,2022年国内兆声波清洗机产量2879台,需求量4534台。
2018-2023年中国兆声波清洗机市场供需
资料来源:共研产业咨询(共研网)
近年来,芯片制造的技术发展一直是兆声波清洗机发展的驱动力。随着芯片工艺的不断进步,清洗工序的数量大幅提高,所需的清洗设备数量也将持续增长,给兆声波清洗机带来了巨大的新增市场需求;此外,为了进一步提高集成电路性能,芯片结构开始3D化,此时兆声波清洗机在清洗晶圆表面的基础上,还需在无损情况下清洗内部污染物,这对兆声波清洗机备提出了更高的技术要求。通过近些年的发展,我国兆声波清洗机行业取得了一系列的成就,市场规模不断增长,2022年我国兆声波清洗机市场规模31.22亿元。
2018-2023年中国兆声波清洗机市场规模
资料来源:共研产业咨询(共研网)
兆声波清洗机广泛应用于半导体清洗、半导体科研及实验室领域。此外,还可用于液晶、镜片、光学器件照相机镜头制造业以及钟表、眼境、珠宝制造业等。其中,半导体清洗领域25.17亿元;半导体科研及实验室领域1.8亿元;其他领域4.25亿元。
2022年兆声波清洗机细分领域市场规模占比
资料来源:共研产业咨询(共研网)
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共研产业咨询 - 深度报告
2023-2029年中国兆声波清洗机市场调查与投资潜力分析报告
2023-2029年中国兆声波清洗机市场调查与投资潜力分析报告
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