2022年中国半导体清洗设备行业分类、产业链及市场规模走势分析[图]

2022年中国半导体清洗设备行业市场规模有望达到150亿元，较2021年增长38.17亿元[图]

半导体清洗设备清洗工艺行业分类

资料来源：共研网整理

在湿法清洗工艺路线下，目前主流的清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等，其中单片清洗设备市场份额占比最高。各种清洗设备情况如下：

半导体清洗设备分类

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从半导体清洗设备产业链方面来看，产业链上游包括气路系统、管路系统、控制系统等，中游为清洗设备的设计和制造，下游则应用于Foundry厂、IDM厂等。

半导体清洗设备产业链

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近几年来，随着整个半导体投资加速，半导体设备市场高速增长的驱动下，半导体清洗设备行业市场规模高速增长，2020年大幅增长至67.92亿元，2021年达到了106.09亿元，预计2022年我国半导体清洗设备行业市场规模有望达到150亿元。

2015-2022年中国半导体清洗设备市场规模走势

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