2023年全球及中国半导体专用温控设备市场规模分析，市场需求持续高涨[图]

半导体专用温控设备利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理通过对半导体工艺设备使用的循环液的温度、流量和压力进行高精密控制，以实现半导体工艺制程的控温需求，是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备。

半导体专用温控设备主要应用于刻蚀、离子注入、扩散、薄膜沉积、化学机械抛光等环节。半导体专用工艺废气处理设备主要用于刻蚀、薄膜、扩散等环节。晶圆传片设备主要用于半导体制程各工艺环节之间的晶圆下线、传片、翻片、倒片、出厂。

半导体专用温控设备可应用于半导体制程各环节，应用领域较为广泛，属于半导体制造必需的设备，2022年我国半导体产业年度销售收入为30903.80亿元。其中半导体分立器件制造产业销售收入为1671.85亿元；集成电路制造产业销售收入为12006.1亿元；光电子器件及其他制造业销售收入为17225.85亿元。

2015-2022年我国半导体产业细分经营情况（亿元）

资料来源：国家统计局、共研产业咨询（共研网）

2015-2022年中国半导体设备市场销售收入

资料来源：国家统计局、共研产业咨询（共研网）

2015年以来，我国大陆大规模兴建晶圆厂。随着晶圆厂的兴建，下游晶圆制造厂商对包括半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备、晶圆传片设备在内的半导体专用设备需求日益增长，带动半导体设备行业进入高速发展阶段。国产半导体专用温控设备起步较晚，半导体专用温控设备市场份额主要由国外厂商占据，国外厂商主要以ATS公司、SMC公司为代表，国内厂商市场份额占比极低。

半导体专用温控设备竞争企业

资料来源：共研产业咨询（共研网）

在晶圆制造过程中，温度是十分重要的工艺参数，半导体专用温控设备主要用于处理工艺制程中的温度参数，以确保晶圆制造各环节工艺制程能够达到特定控温要求。半导体专用温控设备的工作原理为利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理对半导体工艺设备使用的循环液的温度、流量和压力进行高精密控制。2022年全球半导体专用温控设备市场规模6.98亿美元，中国半导体专用温控设备市场规模1.64亿美元。

2018-2022年全球及中国半导体专用温控设备市场规模

资料来源：共研产业咨询（共研网）

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