在高真空应用中，残余气体的存在可能会影响真空系统内部的表面污染，影响真空工艺的进行。残余气体检测质谱仪分别以空气、空气/氩气混合气体为样品，研究了质谱仪的进样输运效应。利用空气/氩气混合气体作为标准样品，进行了质谱峰强对浓度的标定，获得了分析仪对残余空气定量分析的标定关系。残留气体分析仪（RGA）主要应用于工业及科研方面，其中工业应用占据74%。
残留气体分析仪（RGA）主要应用
资料来源：共研产业咨询（共研网）
残留气体分析器具有很高的化学选择性和灵敏度，因此长期应用于在半导体制造中以及化学工艺过程的监控和异常情况检测。2022年全球残留气体分析仪（RGA）市场规模达到了2.8亿美元，预计2023年有望达到2.87亿美元。
2022-2026年全球残留气体分析仪（RGA）市场规模情况
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全球残留气体分析仪（RGA）企业市场集中度较高，TOP3企业占46%，而产品份额最大的是1-100amu，占47%，1-200amu及1-300amu合计占53%。
全球残留气体分析仪（RGA）市场份额情况
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共研产业咨询 - 深度报告
2023-2029年中国残留气体分析仪市场调查与投资前景预测报告
2023-2029年中国残留气体分析仪市场调查与投资前景预测报告
报告首先介绍了残留气体分析仪行业定义、商业模式、产业壁垒、风险因素、产业特征及研究方法；接着在综合行业PEST环境的基础上对国内外市场残留气体分析仪产品产销、规模以及价格特征做了重点分析；然后对于残留气体分析仪行业本身或相关产业的贸易态势、经营状况进行剖析；
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