四氟化碳（CF4）又称四氟甲烷，具有较好的溶氧性，其高纯气及其配高纯氧气的混合气是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。
四氟化碳应用市场分布
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工业上四氟化碳的合成主要采用氟碳直接合成法，这种生产工艺的优点是原料易得、反应可控、产物纯度高。该方法已实现工业化生产，产品纯度高达99.99%以上，可满足电子工业的需求，已成为工业上制备四氟化碳的最主要方法之一。
工业四氟化碳生产工艺
国内四氟化碳主要生产厂家包括科美特，华特气体等，其中，科美特四氟化碳年产能为1200吨，气体纯度高、质量稳定。
国内四氟化碳产能
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目前我国半导体工厂的四氟化碳50%来自于日本，国内华特气体、南大光电、昊华科技、雅克科技、中船重工718所等企业均在积极布局氟碳类气体，四氟化碳的需求将会显著增加，2021年大陆四氟化碳需求量将超过3000吨，2025年有望超过8000吨。
2021-2025年中国四氟化碳需求量
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共研产业咨询 - 深度报告
2023-2029中国四氟化碳市场深度调查与市场分析预测报告
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