离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入的目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。与常规热掺杂工艺相比，离子注入可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。
离子注入机按能量高低可分为：低能离子注入机、中能离子注入机、高能离子注入机和兆伏离子注入机；按束流大小可分为：小束流离子注入机、中束流离子注入机、强流离子注入机和超强流离子注入机。
离子注入机分类
资料来源：共研产业咨询（共研网）
市场上离子注入机主要由美国和日本的厂商垄断，国内起步较晚。目前，国内仅有凯世通和北京中科信电子装备有限公司两家厂商具备离子注入设备的研发、生产能力。
目前全球主要的离子注入机生产厂家
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随着中国集成电路和AMOLED行业快速发展，国内对集成电路离子注入机和AMOLED离子注入机的需求不断增大，2021年5月，凯世通自主研发的首台低能大束流离子注入机率先在国内12英寸主流集成电路芯片制造厂完成设备验证和验收工作，这也是国内首台完成主流客户验证并确认收入的国产低能大束流设备。
2016-2022年中国离子注入机市场规模
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共研产业咨询 - 深度报告
2023-2029年中国离子注入机行业全景调研及市场前景预测报告
2023-2029年中国离子注入机行业全景调研及市场前景预测报告
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